パーティクル
パーティクルについての説明
パーティクルとは?
パーティクルとは、ホコリや塵などを指します。パーティクルカウンター等を用いて、大気中にあるパーティクルの散乱光を検知して値を求めます。
パーティクル数による清浄度クラス
クリーンルームの清浄度を表す「クラス100、1000」といったクラスの表し方は、28.3Lの空気中に、0.5μmの粒子がいくつ入っているのかで決まります。
そのため、クラス100のクリーンルームといった場合は「約30cm四方の立方体の中に、0.5μmの粒子が100個以下しか入っていない」ことになります。特に電子機器・半導体機器といった、わずかな異物の混入も許されない製品を作る際は、クラスの値を低くすることが必要です。
弊社では現在、複合加工環境でクラス100のクリーンルームを保有しています。電子部品・半導体関連部品に関してもお気軽にお問合せください。
パーティクルに関連する用語
この用語集には、業界や特定の分野特有の表現などが含まれている可能性があり、ケースによっては必ずしも適切・正確でない場合があります。
あらゆるケースにおいて正確性を保証するものではありません。参考資料の一つとして捉えていただければ幸いです。